蚀刻洁净机

品牌：JL-RR12

型号：JL-RR12

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1.等离子源系统：频 率 13.56MHz 射频 功 率 2000W 可调 2.真空腔体： 材质 316L 不锈钢 处理最大尺寸 12 英寸，真空泵：进口干泵； 真空管路：不锈钢管、不锈钢波纹管 3，适用气体： 流量范围 0-500SCCM（可调） ，工艺气体 Ar、N？ 、O？ 、H？ 、CF？；真空计 1×105~1×10-1Pa ；质量流量计 ＜±1% FS； 气路控制 2 路处理气体气路，气体流量可调 ；工作真空 5Pa。 4.控制系统 ：PLC 自动控制；7 寸触摸屏,图形用户界面；配方程序为 0~99；多级权限操作； 图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；存储工艺数据及错误信息；报警信息提示及追溯； 图形化界面检测处理参数； 自动、手动操作可切换； 维护提示紧急停止按钮； 门感应器和真空互锁； 机器运行信号指示； 机器运行结束提示；

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）

数量：1

单价：330000.00(人民币)

330000.00(人民币)