尾气处理装置

参数 1. （Capacity）：≥ 800 slm 2. 进气口数：6个或以上 3. 设备宽度：＜ 850 mm 二、气体破坏去除率（DRE均≥99% 4. 氟碳类气体（含 CF₄、C₄F₈、CHF₃、CH₃F、CH₂F₂ 等5. 含硫/氮氟化物（NF₃、SF₆） 6. 酸性气体（HF、HBr、Cl₂）7. 含硅/硼卤化物（SiCl₄、BCl₃） 8. 含氧化合物/羰基/硫化物（N₂O、CO、COS） 9. 含氢/碳/氮类气体（H₂、NH₃、CH₄） 三、保障配置 10. 机台须标配烟感探测器； 11. 机台内部须设置漏液带，侦测漏液；且机台底部配置承漏盘，承漏盘内部配置漏液侦测装置； 12. 所有水路必须配置双阀控制； 13. 机台水箱材质须为 CPVC 材质，满足耐腐蚀要求； 14. 机台循环水路必须配置过滤器，预防喷头堵塞影响水洗效果； 15. 配置新风除湿功能；16. 机台宕机后，具备 by-pass 旁通管路氮气吹扫功能；17. 机台三通阀自动控制复位&漏电保护

按行业标准提供服务